高级光刻工艺初步的讲解
基本光刻工艺前面已经介绍.随着图形尺寸减小到亚微米级芯片制造工艺对低缺陷密度的要求越来越迫切还有芯片尺寸和器件密度的增加这些都要求芯片制造工业尽可能挖掘各种传统工艺的潜能和开发新的工艺技术.
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