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光刻工艺中的金属剥离技术

上传者: 2020-07-21 18:57:01上传 PDF文件 83.9KB 热度 47次
光刻工艺中的金属剥离技术.刻蚀工艺:利用化学或者物理方法,将抗蚀剂薄层未屏蔽的晶片表面或介质 层除去,从而在晶片表面或介质层上获得与抗蚀剂薄层图形完全一致的图形。集成电路 各功能层是立体重叠的,因而光刻工艺总是多次反复进行。
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