电弧离子镀(Ti, Cr)N硬质薄膜的成分、结构与硬度(2002年)

用Bulat 6型电弧离子镀设备在高速钢表面沉积合成（Ti，Cr）N硬质薄膜，通过改变分离靶弧电流的配置来调节薄膜成分，制取了x=0.62～0.83的（Ti xCr1-x）N薄膜；考察了薄膜的成分、结构与硬度间的相互关系，明确了Cr在TiN基薄膜中使硬度提高的合金强化作用；结合元素周期律中的基本性质和热力学特征，讨论了Ti、Cr两种元素在（Ti，Cr）N薄膜的相结构（fcc）形成与合金强化中的作用。