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脉冲偏压磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的组织结构及耐磨性

上传者: 2020-06-09 03:07:19上传 PDF文件 437.76KB 热度 10次
脉冲偏压磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的组织结构及耐磨性,李晓芳,张岩,利用脉冲偏压磁过滤电弧离子镀在高速钢(M2)基底上制备了厚约2.5μm的TiN薄膜。用场发射扫描电镜(FESEM)观察薄膜表面和断面形貌,�
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