CrN硬质薄膜的制备工艺对其性能的影响

Name: CrN硬质薄膜的制备工艺对其性能的影响
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Author: qyyhx15827

上传者：qyyhx15827 2020-07-22 02:14:45上传 PDF文件 598.1KB 热度 49次

CrN硬质薄膜的制备工艺对其性能的影响，冶艳，江利，本研究采用封闭磁场非平衡磁控溅射法，在高速钢M42表面覆盖CrN薄膜；利用SEM表征薄膜组织结构和表面形貌，并用洛氏硬度计压坑法测定

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