1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 沉积温度对BCN薄膜成分及结构的影响

沉积温度对BCN薄膜成分及结构的影响

上传者: 2020-05-14 19:09:01上传 PDF文件 441.59KB 热度 27次
沉积温度对BCN薄膜成分及结构的影响,徐淑艳,马欣新,本文采用磁控溅射方法,改变沉积温度制备了系列硼碳氮(BCN)薄膜。采用X射线光电子能谱仪和傅立叶红外光谱仪分析了薄膜的成分和结�
下载地址
用户评论