光刻技术工艺及应用

Name: 光刻技术工艺及应用
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Author: Zzoujy

上传者：Zzoujy 2020-08-29 17:36:16上传 PDF文件 78.3KB 热度 53次

单的说用一定波长的波刻蚀材料就是光刻技术,集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法

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光刻技术工艺及应用

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