论文研究铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控 .pdf 上传者：houguof 2020-03-13 13:52:40上传 PDF文件 618.12KB 热度 26次 铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控，柳小敏，黄其煜，随着集成电路线宽尺寸的减小，对各工艺层缺陷的消除及管控变得更加重要。晶须缺陷是铝垫工艺中的一种常见缺陷，它会阻挡铝刻蚀工 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 houguof 资源：19592 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
