论文研究铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究 .pdf 上传者：Xieminsen 2020-01-02 23:13:41上传 PDF文件 417.48KB 热度 55次 铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究，郭浩，，在集成电路制造中，Al具有在空气中稳定，且其工艺廉价和成熟的特点。这使其在90纳米甚至更微小尺寸的工艺技术的远后段制程中必不�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
