论文研究 PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 .pdf
PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善，王铁渠，黄其煜，在半导体集成电路制造PECVD工艺中，经常会遇到薄膜颗粒缺陷问题。本论文总结了PECVD中薄膜颗粒的类型和形成原因以及改善方法。PECVD��
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