2 m 量级SiC 非球面反射镜的摆臂轮廓检测

提出采用摆臂式轮廓检测的方法,实现超大口径SiC反射镜面形的高精度轮廓检测。阐述了采用摆臂轮廓仪检测超大口径反射镜的基本原理和具体实施流程;介绍了基于扫描线交点高度一致性的特点进行面形重构的算法,以及针对离焦量测量不准的问题,采用激光跟踪仪对面形离焦量进行辅助测量的手段,建立了综合优化的检测模型;结合实例对口径为2040 mm 的同轴抛物面SiC反射镜进行了摆臂轮廓检测,检测精度均方根(RMS)为0.46 μm,与干涉仪检测结果对比偏差0.03 μm。该技术与加工机床集成实现了反射镜的在位检测,以非球面的最接近球面为测量基准,提供了一种精确、高效地测量超大口径光学非球面面形的方法,满足了大口径