大口径离轴非球面碳化硅反射镜的加工

为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜,提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离轴非球面碳化硅反射镜加工工艺规范。采用Ultrasonic 100-5数控加工机床直接将Φ600 mm碳化硅反射镜铣磨成离轴非球面,铣磨后反射镜面形精度的峰谷(PV)值为17.17 μm。利用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对离轴非球面碳化硅反射镜进行研磨和粗抛光,使其面形精度的均方根(RMS)值达到0.102λ(λ=0.6328 μm)。采用离子束辅助沉积(IBAD)表面改性技术在粗抛光后离轴非球面碳化硅反射镜表面镀制一层厚度约10 μm的硅改性层,并利用先进的离子