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非球面反射镜的测量

上传者: 2021-02-23 17:48:32上传 PDF文件 552.62KB 热度 15次
测量非球面反射镜,目前虽然有许多方法,但是都不精确。日本东芝公司介绍了一套系统,比其它许多方法都简易,在其设计中使用了一套包括相位探测微型组件的干涉仪。
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