衬底温度对掺锆酸钡高温超导YBCO薄膜结构和超导电性能的影响

高温超导氧化物YBCO 外延薄膜在掺入少量锆酸钡(BaZrO3 ,BZO) 后,其超导性能会得到较大幅度的提高。研究了不同衬底温度对掺BZO 的YBCO 薄膜的外延特性及超导性能的影响。以固相反应法制备了YBCO 及BZO 原材料,利用固相烧结工艺制备了BZO 含量为2 %(质量分数) 的YBCO2BZO 复合靶材,采用脉冲激光沉积技术( PLD) 在LaAlO3 (100) 基片上外延生长YBCO 薄膜。以不同的衬底温度制备了YBCO 薄膜,用X 射线衍射和高分辨透射电子显微技术对所制备的YBCO 薄膜的外延特性进行了分析。最后比较了在不同衬底温度下制备的YBCO薄膜的超导性能,得到了最佳衬