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高温超导氧化物YBCO掺锆酸钡薄膜的制备及其结构分析

上传者: 2021-02-21 16:36:22上传 PDF文件 413.65KB 热度 13次
本文用脉冲激光溅射沉积法( PLD)在LaAlO3 (100)基片上外延生长YBa2Cu3O72δ掺锆酸钡(BZO)薄膜. 用X射线衍射、透射电镜对薄膜结构进行分析. 探索PLD沉积的最佳实验参数,最佳沉积温度为800 °C,最佳氧分压为25 Pa,最佳沉积频率为3 Hz.
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