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微透镜列阵的离子束刻蚀及衍射效率测量

上传者: 2021-02-19 23:04:41上传 PDF文件 519.15KB 热度 8次
采用Kaufman离子刻蚀微透镜列阵并采用实时检测系统对刻蚀深度进行了控制.提出了测量微透镜列阵衍射效率的一种方法,对测量误差进行了讨论.
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