离子束蚀刻微透镜中蚀刻深度允许误差的研究 上传者：玉符天启 2021-02-19 23:04:35上传 PDF文件 579.62KB 热度 23次 基于衍射光学原理, 获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度误差之间的关系式。 研究表明, 离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足L=1时的微透镜微加工要求, 但未能满足L>1时的微透镜微加工要求。 对L>1的情形, 需要提高蚀刻深度控制精度以使蚀刻深度的误差小于87 nm。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
