离子束蚀刻微透镜中蚀刻深度允许误差的研究 上传者：玉符天启 2021-02-19 23:04:35上传 PDF文件 579.62KB 热度 8次 基于衍射光学原理, 获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度误差之间的关系式。 研究表明, 离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足L=1时的微透镜微加工要求, 但未能满足L>1时的微透镜微加工要求。 对L>1的情形, 需要提高蚀刻深度控制精度以使蚀刻深度的误差小于87 nm。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 玉符天启 资源：431 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
