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离子束蚀刻微透镜中蚀刻深度允许误差的研究

上传者: 2021-02-19 23:04:35上传 PDF文件 579.62KB 热度 8次
基于衍射光学原理, 获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度误差之间的关系式。 研究表明, 离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足L=1时的微透镜微加工要求, 但未能满足L>1时的微透镜微加工要求。 对L>1的情形, 需要提高蚀刻深度控制精度以使蚀刻深度的误差小于87 nm。
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