铜离子注入铌酸锂的离子束增强刻蚀 上传者：yyy31763 2020-06-19 05:22:16上传 PDF文件 357.85KB 热度 56次 铜离子注入铌酸锂的离子束增强刻蚀，王磊，项炳锡，采用MeV铜离子注入的方法注入铌酸锂单晶样品，研究了铜离子注入铌酸锂的增强刻蚀特性。利用湿法刻蚀、金相显微镜、扫描电子显微镜 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
