光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析

光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为实现透镜面形精度均方根(RMS)值优于2 nm的高精度指标,提出一种轴向多点挠性支撑、径向三点可调式定位的光学透镜支撑结构。基于自重变形对支撑结构进行优化设计,深入分析在此支撑结构下自重和热载荷对透镜面形影响。结果表明,重力引起的透镜上表面面形RMS值为0.186 nm,下表面面形RMS值为0.15 nm。热载荷引起的上表面面形RMS值为0.55 nm,下表面面形RMS值为0.54 nm。采用这种透镜的支撑结构,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。