0.35 μm分步重复投影光刻物镜设计 上传者：qq_91663 2021-04-08 18:27:14上传 PDF文件 573.09KB 热度 11次 介绍0.35 μm分步重复投影光刻物镜的设计要点, 包括数值孔径、 结构型式的确定、 材料的选择。 介绍了光刻物镜设计的难点、 创新点及设计结果。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 qq_91663 资源：422 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
