光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究

为了对光刻物镜的像差进行补偿,设计了一种主动液体透镜,并分析了该主动液体透镜变形过程中的像差变化特性。用去离子水、氟化锂设计了一种主动液体透镜,在考虑重力及静水压力的情况下,分别计算了一点至六点均布、各点均匀施加载荷作用下镜片的变形;然后对变形镜片的挠度进行了Zernike多项式拟合,得到了各标准Zernike多项式系数所表示的像差与机械挤压力之间的函数关系。计算表明:主动液体透镜的各标准Zernike多项式系数值随受力大小呈强线性关系;除一点受力变形外,在多点受力变形情况下主动液体透镜像差的前三项均为piston,defocus及n-foil;主动液体透镜对piston项及defocus项这