激光跟踪仪测量二次离轴非球面曲率半径的方法

为了测量离轴非球面镜的曲率半径、圆锥系数等参数,提出了一种使用激光跟踪仪快速测量二次非球面的方法。重点介绍了使用激光跟踪仪得到空间三维坐标后的数据处理方法。实验中对一离轴非球面反射镜进行了测量,通过非线性最小二乘拟合得到了其曲率半径及圆锥系数,拟合结果均方根误差(RMSE)约为1.6 μm,确定系数约为0.999999954,所得曲率半径及圆锥系数与已有测量方法相差很小。理论分析以及实验结果表明,该方法简单通用,易于实施,数据处理过程快速可靠,适用于二次非球面镜曲率半径等参数的测量。