小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展 上传者：最爱吃糖小狂魔 2020-10-28 05:25:40上传 PDF文件 390KB 热度 42次 介绍了电容式传感器在小量程压力测量领域的优势和目前研制小量程MEMS电容式压力传感器的技术难点。从实现MEMS电容式传感器小量程压力测量的不同方法出发,详细论述了国内外的研究成果、关键技术及应用情况。最后分析总结了小量程MEMS电容式压力传感器的发展方向与挑战。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
