MEMS压力传感器的原理与应用

Name: MEMS压力传感器的原理与应用
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Author: baidu_92724

上传者：baidu_92724 2020-10-28 06:06:01上传 PDF文件 227.44KB 热度 47次

MEMS(MicroElectromechanicalSystem,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

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