MEMS压力传感器原理与应用

Name: MEMS压力传感器原理与应用
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Author: qq_72001

上传者：qq_72001 2020-10-28 05:45:48上传 PDF文件 182.77KB 热度 60次

MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

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