Performance of a sensitive micromachined accelerometer with an electrostatically 上传者：s46song 2020-08-12 18:45:31上传 PDF文件 824.29KB 热度 33次 一种高灵敏度硅微静电加速度计的实验研究,韩丰田,孙搏谦,设计并测试了一种检验质量采用六自由度静电悬浮的三轴硅微加速度计,以评估这种高灵敏度的加速度计在空间应用的潜力。微机械加工 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
