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Analysis and prevention for selflocking of a micromachined electrostatically sus

上传者: 2020-02-06 17:14:48上传 PDF文件 431.09KB 热度 21次
硅微静电加速度计轴间耦合自锁研究,尹永刚,韩丰田,硅微静电悬浮加速度计(MESA)是一种基于差分电容位移检测和静电力反馈的力平衡式三轴惯性仪表,其检验质量依靠六自由度静电悬浮�
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