Analysis and prevention for selflocking of a micromachined electrostatically sus 上传者：^_浮树林沉 2020-02-06 17:14:48上传 PDF文件 431.09KB 热度 43次 硅微静电加速度计轴间耦合自锁研究，尹永刚，韩丰田，硅微静电悬浮加速度计（MESA）是一种基于差分电容位移检测和静电力反馈的力平衡式三轴惯性仪表，其检验质量依靠六自由度静电悬浮� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
