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MEMS accelerometer

上传者: 2019-05-27 13:04:23上传 PDF文件 1019.19KB 热度 34次
Amonolithiccapacitivetriaxialaccelerometerusingahighlysymmetricquad-beamstructurewithasingleseismicmassisdeveloped.Thestructureoftheaccelerometerisanalysedindetailtheoreticallyandnumerically.
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