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基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究

上传者: 2020-07-21 02:53:47上传 PDF文件 1.04MB 热度 14次
基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究,韩雪松,,显微探针技术的突破以及高端MEMS的性能需求促使微纳尺度三维表面结构/构型制造技术的研究不断深入。随着器件尺度的不断缩小,表面�
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