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单晶硅片的制造技术

上传者: 2020-12-30 18:06:58上传 DOCX文件 279.18KB 热度 15次
摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片制造技术主要适应小直径( ̄
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