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论文研究 隔离工艺对高压双极晶体管工艺的影响 .pdf

上传者: 2020-07-17 10:34:54上传 PDF文件 295.85KB 热度 12次
隔离工艺对高压双极晶体管工艺的影响,徐华芹,,双极晶体管工艺通常以外延工艺前硅片衬底上形成的P型埋层即BP和外延上形成的P Sinker即DP相接来实现对通隔离。在高压双极晶体管的应��
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