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基于白光倾斜扫描干涉术的微结构表征方法

上传者: 2020-05-22 16:40:18上传 PDF文件 514.71KB 热度 12次
基于白光倾斜扫描干涉术的微结构表征方法,郭彤,马龙,目前,白光干涉术已经成长为MEMS产业中的一种标准测试手段。但是,由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制,使其不能进行较大�
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