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ITO薄膜的微结构及其分形表征

上传者: 2020-07-17 20:34:34上传 PDF文件 826.84KB 热度 24次
ITO薄膜的微结构及其分形表征,孙兆奇,吕建国,采用直流磁控溅射法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,用XRD、TEM和分形理论测试和分析了不同退火时间ITO薄膜的微结构。XRD分析表明:退火时间
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