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基于白光干涉术的厚膜几何参数测试

上传者: 2020-07-18 18:09:35上传 PDF文件 712.96KB 热度 13次
基于白光干涉术的厚膜几何参数测试,马龙,郭彤,在过去的二十年间,白光显微干涉术被广泛的应用于微结构的几何参数测试。但是当微结构表面覆盖有透明的薄膜结构时,这种方法将不
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