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双束沉积ZrOx薄膜时O+束流密度对其折射率的影响(1993年)

上传者: 2024-07-06 11:39:25上传 PDF文件 143.83KB 热度 6次
首次报道了双离子束技术制备ZrOz光学薄膜。本文给出了薄膜中氧与锆原子比值组成与沉积过程参数的关系,同时给出了相应的薄膜折射率变化的数据。根据RBS,XPS,X,RD及TEM等微观分析提出了最佳工艺参数的条件。
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