退火对双离子束溅射沉积Ta2O5薄膜中残余应力的影响

Name: 退火对双离子束溅射沉积Ta2O5薄膜中残余应力的影响
Rating: 4.5 (29 reviews)
Author: 奋斗的小虫子

上传者：奋斗的小虫子 2021-04-16 22:30:34上传 PDF文件 895.76KB 热度 29次

下载地址

用户评论

更多下载

下载地址

立即下载

用户评论

退火对双离子束溅射沉积Ta2O5薄膜中残余应力的影响

退火对双离子束溅射沉积Ta2O5薄膜中残余应力的影响

大小：896KB | 2021-04-16 22:30:34
离子束溅射参数与Ta2O5薄膜特性的关联性

离子束溅射参数与Ta2O5薄膜特性的关联性

大小：1.27MB | 2021-02-19 23:04:36
氧化物薄膜的离子束溅射沉积

用离子束溅射沉积的方法制备的TiO2、ZrO2薄膜的光吸收损耗明显降低,对其折射率、光吸收和抗激光损...

大小：587KB | 2021-04-21 10:00:47
离子束溅射沉积光学薄膜速率分布

本文应用高斯型离子束流强度分布计算了离子束溅射沉积光学薄膜的沉积速率分布,结果表明,沉积速率空间分布...

大小：810KB | 2021-05-04 22:47:54
双离子束溅射沉积薄膜的光学特性与激光损伤研究

对氧化物薄膜的双离子束溅射沉积作了系统地实验研究。考察了离子束溅射工艺参数对薄膜光学特性的影响,制备...

大小：2.3MB | 2021-02-27 10:18:55
双离子束React溅射制备HfO2薄膜的性能

双离子束React溅射制备HfO2薄膜的性能

大小：525KB | 2021-03-14 04:32:42
光谱法确定离子束溅射Ta

采用双离子溅射的方法,在硅、石英基底上制备了单层Ta2O5、SiO2及双层Ta2O5/SiO2光学薄...

大小：4.12MB | 2021-03-03 02:32:17
离子束溅射沉积氧化镁薄膜的取向竞争研究

离子束溅射沉积氧化镁薄膜的取向竞争研究，李啸，卢会平，用离子束溅射沉积，改变溅射离子束能量、镀膜时间...

大小：752KB | 2020-07-17 20:09:18
热处理对离子束溅射SiO2薄膜结构特性的影响分析

热处理对离子束溅射SiO2薄膜结构特性的影响分析

大小：550KB | 2021-02-19 23:04:37
原子层沉积制备Ta2O5薄膜的光学特性研究

以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250...

大小：2.95MB | 2021-04-18 01:26:22
离子束溅射氧化铪薄膜的能带特性

氧化铪是高激光损伤阈值薄膜领域内一种重要的高折射率材料,其禁带宽度和Urbach带尾宽度直接影响到薄...

大小：6.68MB | 2021-02-25 04:51:32
离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性

以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(I...

大小：1.4MB | 2021-02-07 22:07:17
退火工艺对溶胶凝胶薄膜残余应力的影响

使用溶胶凝胶法制备了铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X 射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,...

大小：662KB | 2020-08-07 03:11:08
离子束沉积系统

离子束沉积系统

大小：46.14MB | 2021-02-07 22:07:06
离子束溅射制备SiO2薄膜的折射率与应力调整

离子束溅射制备SiO2薄膜的折射率与应力调整

大小：675KB | 2021-03-02 01:13:46
离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究

利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率,运用哈德雷方程...

大小：804KB | 2021-02-19 23:04:33