ansys实验四MEMS薄膜压力传感器静力学分析

由于许多压力传感器的工作原理是将受压力作用而变形的薄膜硅片中的应变转换成所需形式的电输出信号所以我们要研究比较一下用什么样形状的膜来作为压力传感器的受力面比较好.我们比较的膜形状有三种分别是圆形正方形长方形.在比较的过程中三种形状膜的面积厚度和承受的压力是都是相等的.设置参数具体为F0.1MPa EX1.9e11PRXY0.3DENS2.33e3单元尺寸为5e006.为了选择合适的网格化类型首先我们拿圆的结构进行一下比较最后选择比较接近理论计算的网格化类型通过比较我们知道映射网格化类型比较优越所以后面的两种类型膜结构选择了映射网格化.