Ti / Al / Ti / W无金欧姆接触通过预欧姆凹槽蚀刻和低温退火与AlGaN / GaN异质结构的机理

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Ti Al Ti W无金欧姆接触通过预欧姆凹槽蚀刻和低温退火与AlGaN GaN异质结构的机理

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