基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器

Name: 基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
Rating: 4.5 (26 reviews)
Author: qq_85016

上传者：qq_85016 2021-04-07 13:06:31上传 PDF文件 1.78MB 热度 26次

下载地址

用户评论

更多下载

下载地址

立即下载

用户评论

基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器

基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器

大小：1.78MB | 2021-04-07 13:06:31
基于MEMS压力传感器

基于MEMS压力传感器的外置式数字胎压监测系统.pdf

大小：0B | 2019-06-01 08:16:21
传感技术中的mems压力传感器

硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计,是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制...

大小：51KB | 2020-12-13 06:17:47
传感器MEMS封装技术

详细介绍了MEMS传感器及其封装技术,很详细的资料!

大小：166KB | 2020-08-06 02:45:02
采用新一代晶圆级封装的固态图像传感器设计

固态图像传感器要求在环境大气中得到有效防护。代图像传感器安装在带玻璃盖的标准半导体封装中。这种技术能...

大小：227KB | 2021-02-17 07:47:54
MEMS压力传感器应用

MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而...

大小：300KB | 2020-10-28 06:58:00
基于系统级封装技术的车用压力传感器

1、引言经过几十年的研究与开发,MEMS器件与系统的设计制造工艺逐步成熟,但产业化、市场化的M...

大小：185KB | 2021-02-27 05:15:05
用于扇出型晶圆级封装的铜电沉积

随着集成电路设计师将更复杂的功能嵌入更狭小的空间,异构集成包括器件的3D堆叠已成为混合与连接各种功能...

大小：106KB | 2021-01-31 15:12:59
传感技术中的采用新一代晶圆级封装的固态图像传感器设计

固态图像传感器要求在环境大气中得到有效防护。第一代图像传感器安装在带玻璃盖的标准半导体封装中。这种技...

大小：0B | 2020-11-12 22:01:29
基于MEMS压力传感器的个人导航仪

压力传感器是指将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件(或应变计...

大小：322KB | 2021-02-27 05:05:29
MEMS压力传感器的原理与应用

MEMS(MicroElectromechanicalSystem,即微电子机械系统)是指集微型传感...

大小：227KB | 2020-10-28 06:06:01
MEMS压力传感器及其应用

MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而...

大小：217KB | 2020-10-28 01:32:09
传感技术中的基于系统级封装技术的车用压力传感器

1、引言经过几十年的研究与开发,MEMS器件与系统的设计制造工艺逐步成熟,但产业化、市场化的M...

大小：0B | 2020-11-12 16:41:03
新一代晶圆级封装技术解决图像传感器面临的各种挑战

固态图像传感器要求在环境大气中得到有效防护。代图像传感器安装在带玻璃盖的标准半导体封装中。这种技术能...

大小：100KB | 2021-02-17 07:47:53
传感技术中的新一代晶圆级封装技术解决图像传感器面临的各种挑战

固态图像传感器要求在环境大气中得到有效防护。第一代图像传感器安装在带玻璃盖的标准半导体封装中。这种技...

大小：101KB | 2020-11-21 17:45:59
探究MEMS压力传感器及其应用

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。...

大小：311KB | 2020-08-13 22:40:02