61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析

变形镜作为自适应光学系统的核心器件,波前拟合能力是其主要性能参数。设计了三角形、正方形、环形3种驱动器排布方案,采用Ansys建模提取了驱动器影响函数。对比仿真分析了设计方案对低阶基元像差及其1000帧组合像差的拟合能力。结果表明:环形排布为非接触、力驱动器的最佳排布方案,对组合像差的拟合残差均方根值平均值为0.016 μm;环形排布变形镜对离焦和像散峰谷值分别大于30 μm和15 μm时均有很好的拟合能力。分析了单驱动器失效对变形镜波前拟合能力的影响,结果表明,驱动器失效对音圈电机变形镜拟合能力影响甚小,拟合残差均方根值变化小于0.01 μm。