961单元变形镜研制及性能测试

为了满足天文望远镜自适应光学系统的需要,研制了一个961单元的变形镜及其控制系统。利用Zygo激光干涉仪对变形镜的性能进行测试,包括单个促动器的响应测试、相邻促动器间推拉测试、耦合测试;对于变形镜的校正能力,分别进行了Waffle模式测试、Zernike多项式拟合和展平测试。测试表明,961单元变形镜在单个促动器作用下的最大面形校正量为±2.5 μm;相邻促动器间推拉变形量为4 μm;相邻促动器间的耦合为23%;相对于之前的137单元变形镜,其对Zernike多项式的拟合能力有较大地提高;展平后的面形优于λ/70(λ=632.8 nm)。测试结果达到了天文望远镜自适应光学系统对变形镜的性能指标