高频补偿倾斜电极型宽带声光叉指换能器

提出了一种新型的宽带声光表面波叉指换能器(SAW-IDT), 该换能器应用双梯形倾斜电极,可对单梯形倾斜电极IDT通带的高频成分进行补偿,使通带更宽更平直,并无需外补偿网络.通过计算机模拟得出IDT的优化高频补偿因子ρ=0.12及其他的优化参数.该器件以Y切X传Ti扩散LiNbO3作为光波导,以~150 nm厚的SiO2/In2O3薄膜作为声波导,声孔径W0=110 μm,叉指对数N=9.IDT的中心频率为187.7 MHz,Bragg声光带宽为55.3 MHz,通带斜率为0.00,通带凹陷深度<1.0 dB.当模转换效率为99%时,测得射频(RF)驱动功率为45 mW,该器件可望作为1