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微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景

上传者: 2021-03-02 01:14:00上传 PDF文件 1.57MB 热度 5次
综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 ,并对应用前景进行分析。
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