微电子机械系统用高几何精度扩散片的研制
微电子机械系统用高几何精度扩散片的研制,佟丽英,王聪,选取高几何精度的硅片进行硼扩散,硼扩散工艺采用双面扩散,然后经过单面磨削后,加工成单面扩散片,在此过程中,扩散片的几何参
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