反应蒸发沉积NiO

利用WO3和NiO的互补显色可以大大提高电致变色玻璃的变色效率。有关WO3薄膜的制备方法及其性能已有许多文献作了报道。已报道的NiOx薄膜常用金属镍的射频反应溅射或电子束反应蒸发方法制备。前者沉积速率较慢,电致变色响应速度及透射率变化范围均不如后者[1]。本文介绍的金属镍反应闪蒸方法无需电子束设备,所制备的G/ITO/NiOx系统在2MKOH溶液中的饱和着色和漂白的透射光谱测试表明,相对于人眼峰值响应(λ=550nm)的透射率变化范围达60%以上,薄膜的电致变色响应速度、沉积速度也优于反应溅射工艺。