论文研究等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜 .pdf
等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜，黄孟祥，陈俊芳，利用ICP离子源辅助电子枪低温蒸发沉积AlN薄膜，对薄膜进行XRD谱分析，用AFM原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌，经过高温退火后的薄膜
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