准分子激光推动集成电路光刻 上传者：Nick_82155 2021-02-26 08:55:17上传 PDF文件 1.25MB 热度 7次 87年3月于美国加州圣·克拉拉光学仪器工程师协会召开的微型光刻术中的激光会议上 重要的事件是,GCA公司宣布了第一个分辨率为0.5纳米的基于准分子激光器的印刷系统将在1987年第二季度推出。这次会议还介绍了另外几种准分子激光器,并讨论了透镜、光敏电阻和控制激光线宽的重要性。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 Nick_82155 资源：391 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
