1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 准分子激光用于光刻设备

准分子激光用于光刻设备

上传者: 2021-02-09 23:50:46上传 PDF文件 642.54KB 热度 5次
罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说:光刻设备利用准分子激光,可望提供X射线光刻的大部分优势,而避免其许多缺点。
下载地址
用户评论