157 nm激光微加工制作的微光纤压力传感器

为了提高微光纤压力传感器的制作效率,采用157 nm激光加工的自封闭式法布里珀罗腔,形成在线式全光纤压力传感器,包括微腔和一截短的单模光纤。跟踪压力传感器相位的变化可以获得压力大小。在0~60 MPa的测量范围内,灵敏度达到0.01 rad/MPa,长期稳定性达到±0.04 MPa。所做的10个传感器样品,在60 MPa的测量范围内,灵敏度的冗余度达到±5%,可以规模化制造。这种传感器有望在航空航天、汽车工业和井下监测等领域发挥作用。