用157 nm激光制作的光子晶体光纤法布里珀罗传感器

157 nm准分子激光用于微加工具有单光子能量高,峰值功率高,材料吸收系数高,分辨率高等优点。利用157 nm激光微加工的方法,在光子晶体光纤上融切出微小矩形孔,从而构成腔长为45.6 μm的微光纤法布里珀罗干涉腔,得到的干涉条纹平滑,衬比度约为26 dB,并从激光与石英材料的相互作用上分析了形成较好干涉条纹的原因。把这种微腔应用于应变测量,在550 μm范围内,腔长增量相对于应变的灵敏度为0.32 nm/μm,线形度达0.9994。实验证明该微腔对温度不敏感,800 °C范围内腔长变化仅20 nm。157 nm准分子激光加工光纤法布里珀罗腔方法简单,一次成型,具有较高的加工效率和精度,有望实现